§ 12 CoronaImpfV Verfahren für die Finanzierung aus Bundesmitteln ... dem Bundesministerium für Gesundheit unverzüglich nach der Vornahme von Zahlungen nach § 11 Absatz 1 Satz 3, Absatz 2 Satz 3 und Absatz 3 Satz 3 eine Aufstellung der an die Länder, die Kassenärztlichen Vereinigungen, die ... Kassenärztliche Bundesvereinigung gezahlten Beträge abzüglich der Beträge nach § 11 Absatz 1 Satz 8 und Absatz 3 Satz 4 . Der Bund erstattet die Beträge an die Liquiditätsreserve des Gesundheitsfonds ... V5) geändert worden ist, an die Länder gezahlt hat, abzüglich der Beträge nach § 11 Absatz 1 Satz 8 , 2. den nach § 11 Absatz 3 Satz 3 der Coronavirus-Impfverordnung vom 10. März ... die Kassenärztliche Bundesvereinigung gezahlten Betrag, abzüglich der Beträge nach § 11 Absatz 3 Satz 4 . Der Bund erstattet die Beträge an die Liquiditätsreserve des ... Sicherung kann für den Zweck der Übermittlung nach Satz 1 die Verfahrensbestimmung nach § 11 Absatz 4 anpassen. (3) Ab dem 1. Januar 2022 werden abweichend von den Absätzen 1 ... (3) Ab dem 1. Januar 2022 werden abweichend von den Absätzen 1 und 2 nach § 11 Absatz 2 Satz 3 aus der Liquiditätsreserve des Gesundheitsfonds gezahlte Beträge durch den Bund ... dem Bundeministerium für Gesundheit unverzüglich nach der Vornahme von Zahlungen nach § 11 Absatz 2 Satz 3 eine Aufstellung der an die Kassenärztlichen Vereinigungen und der an die Rechenzentren ...